PolarX 半导体测量系统
系统架构与 UI 框架:基于 WinForm 搭建桌面客户端,采用“事件驱动+委托机制”实现测量、运动、视觉、分析等模块的松耦合通信;引入 AntDUI 组件库,统一工业级交互风格与视觉规范。
高并发与实时处理:采用多线程+异步编程( async / await a ThreadPool )架构独立线程处理光谱采集、电机运动、相机取像及后台存储,配合线程安全队列与锁机制,确保高频率采样下 UI 零卡顿、数据零丢失。
精密运动与视觉控制:基于 RS 485协议自主开发 XYZ 三轴步进电机控制模块实现微米级定位与多点矩阵自动测量;集成 UVC 免驱相机 Aorg . NET 框架,实现晶圆缺口( Notch )识别与预对准。
数据可视化与国际化:集成 ScotPlot 实现光谱曲线与晶圆2 D 热点图( Heatmap )实时渲染,嵌入 Plotly 引擎呈现3 D 表面形貌图;通过 NET Resources 实现中英文无缝切换与动态热加载。
权限与 上游设备对接:设计 RBAC 多级权限管理模型;开发 Windows 后台服务,通过 TCP / IP 协议与 MES 系统及远程终端对接,实现设备状态监控远程指令下发与数据上报。
MK 膜厚仪自动测量系统|2023.12.至今
负责非标半导体膜厚仪自动测量系统的核心开发,采用 EFCore 进行数据持久化, WPF 构建交互界面。
通过 SerialPort 字节指令与机械臂通信,实现 Wafer 抓取、 OCR 识别及膜厚测量的自动化全流程。
集成海康威视相机 DLL 、 Socket 椭圆仪通信、康耐视扫码枪及固高运动控制卡,实现多硬件协同作业。