光刻机配套上位机控制软件及测试软件
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案例介绍
光刻机配套上位机控制软件及测试软件
负责内容
1、上位机建立与下曝光平台的连接，控制光源强度，曝光周期，运动轨迹
2、平台回应运动轨迹，进度，光强分布，功率，波形图
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