光刻机配套上位机控制软件及测试软件

企业服务 · 数据服务 案例ID: 217808
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作者： W - 12年经验- 吉利研究院

案例介绍

光刻机配套上位机控制软件及测试软件
负责内容
1、上位机建立与下曝光平台的连接，控制光源强度，曝光周期，运动轨迹
2、平台回应运动轨迹，进度，光强分布，功率，波形图

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