芯片晶圆全自动匀胶机，具备自动取料、放料、自动烘烤、并且具有机械臂自动取放料，自动烘烤干燥，全自动生产工艺
全自动曝光系统，此系统为芯片晶圆全自动曝光系统，有16个ethercat伺服轴、1个上银dd马达、6个modbusTCP通讯的工业相机
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